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ESD检测(第二版).doc

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ESD 检测 第二
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? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?ESD 检测 方法 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?版 本:Rv1.1 ?MGL -0007 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?第1页共21 页 ?1 E E S S D D 检 检 测 测 方 方 法 法编制 : ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 日 期: 校核: ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?日期 : 审核: ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 日期 : 批准: ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 日期 : ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?ESD 检测 方法 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?版 本:Rv1.1 ?MGL -0007 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?第2页共21 页 ?2 ?前 ? ?言 本规范由公司ESD项目组提出。 ?本规范主要起草和解释部门: 公司ESD 项目组 ?本规范主要起草人: 王真 ?本规范主要审核人: 魏合同 ?本规范批准人: 潘元媛 ESD 检测 方法 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?版 本:Rv1.1 ?MGL -0007 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?第3页共21 页 ?3 1 ? ?范围 ?本规 范 制定 了UT 公司 防静 电材料 、 用 品、 工 具、 防 静电接 地等 防静 电技 术指 标的检 测方 法和 采用 的 仪器。 目 的在 于规 范防 静 电技术 指标 的检 测工 作, 指导现 场操 作。 ?本规范 适用 于UT 公司 防静 电系统 各要 素 (包 括地 面 、 接 地系 统 、 工 作台 、 工 作椅 、 工 位器 具 、 物 流 传递工 具 、 包 装材 料 、 人 员、 腕带 、 服装 、 离子 风 机、 防静 电工 具等 ) 的防 静电性 能指 标检 测 。 防 静 电 专用检 测仪 器的 检测 按照 仪器仪 表的 检测 标准 进行 ,本规 范不 涉及 。 2 ? ?规 范性引用文 件 ?下列文 件中 的条 款通 过本 规范的 引用 而成 为本 规范 的条款 。 凡是 注日 期的 引 用文件 , 其随 后所 有的 修改单 (不 包括 勘 误 的内 容) 或 修订 版均 不适 用于 本规范 , 然 而, 鼓励 根据 本规范 达成 协议 的各 方 研 究 是否可 使用 这些 文件 的最 新版本 。凡 是不 注日 期的 引用文 件, 其最 新版 本适 用于本 规范 。 ?序号 编号 名称 ?1 SJ/T 10694-1996 电子产 品制 造防 静电 系统 测试方 法 ?2 IEC 61340-5-1 TR2:1998 Electrostatics —Part 5-1: Protection of ?electronic devices from electrostatic phenomena —General requirements. ?3 术语和 定义 ?表面电阻 (surface resistance):两个 特定 的放 置 于材料 同一 面的 电极 之间 的电压 与它 们通 过电 流的比 值。 ?体电阻(volume resistance ): 单位 厚度 上的 直流 电压, 与通 过材 料的 单位 面积电 流的 比值 ,测 试电极 放置 于材 料相 对面 的对应 位置 。 ?接地电阻(Earth ?Resistance ): 被 接地 体与 地下 零电位 面之 间的 接地 引线 电阻、 接地 器电 阻、 接地器 与土 壤之 间的 过渡 电阻和 土壤 的溢 流电 阻之 和。 ?摩擦起电(Triboelectrification ):用摩 擦的 方法 使两 物体分 别带 有等 值异 号电 荷的过 程。 ?衰减时间(decay time ):静电 电压 从峰 值电 压降 低到给 定比 例的 时间 。例 如:在15% 相对 湿度 的 情况下 ,静 电电 压从2000V 降低到100V 的衰 减时 间小 于等于1秒。 ?屏蔽泄漏电压: 因 屏蔽 体 外部的 高电 场而 使屏 蔽体 内部获 得的 感应 电场 电压 或外部 高电 场穿 透屏 蔽 体衰减 的残 留电 场电 压, 又称屏 蔽残 余电 压。 ?静电 中和(Electrostatic ?Neutralization ): 带电体 上的电荷与其内部和 外部 相反符号的电荷( 电 子或离 子) 的复 合而 使所 带静电 部分 或全 部消 失的 现象。 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ESD 检测 方法 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?版 本:Rv1.1 ?MGL -0007 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?第4页共21 页 ?4 ?4 ?防 静电参数测试 方法 ? ? 4.1 ?防 静电 主要参数 及测试仪 器 ?测试项目 测试仪器 ?表面电 阻 表面电 阻测 试仪 ?兆欧表 ?体电阻 、系 统电 阻 兆欧表 ?万用表 ?接地电 阻 接地电 阻测 试仪 ?万用表 ?兆欧表 ?静电电 压、 摩擦 电压 、衰 减时间 静电场 测试 仪/ 静电 电压 测 试仪 ?秒表 ?离子风 机离 子平 衡度 静电场 测试 仪、CHARGE PLATE MONITOR ?屏蔽残 余电 压 屏蔽残 余电 压测 试仪 检验 所使 用的 仪器 必须 经 计量检 定合 格( 有准 用标 签), 并在 有效 期内 。 ? 4.2 防 静电 测试仪 器介 绍 ?UT 专用 防静 电测 试仪 器主 要有: 简易 表面 电阻测 试 仪、 兆 欧表、 静电 场测 试 仪、 离 子风 机 离 子平衡 度测试 仪、 CHARGE PLATE MONITOR 156A 、屏 蔽残 余 电压测 试仪 、腕 带测 试仪 、人体 综合 电阻 测试 仪 、 腕带测 试仪 和人 体综 合电 阻测试 仪的 校准 仪。 ?4.2.1 ?手持 式简 易表 面电 阻测 试 仪 ?简易表 面电 阻测 试仪 型号 为WRSTG330 , 测试 量程 为10 3 ~10 12Ω, 适 用于 测试 平 面材料, 通过 测试 结 果可以 分辨 被测 材料 为导 体类、 静电 耗散 类和 绝缘 类。 ?由于静 电耗 散材 料的 表面 电阻为1 ×10 4 Ω≤Rs <1 ×10 11 Ω, 因此WRSTG330 测试 仪面板 指示 的10 11Ω 档(面 板的 黑色 圆圈 处) 修正为 绝缘 材料 ,不 是静 电耗散 材料 。 ?简易表 面电 阻测 试仪 配有 一根专 用接 地线 , 把接 地 线的香 蕉插 头插 入仪 器表 面的接 地孔 , 另一 度端 的鳄鱼 夹夹 在接 地母 线上 ,把表 面电 阻测 试仪 平压 在防静 电台 垫上 ,可 以测 试台垫 的接 地电 阻。 ESD 检测 方法 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?版 本:Rv1.1 ?MGL -0007 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?第5页共21 页 ?5 ?WRSTG330 的 外形 和测 试方 法参见 图1 。 ?便 携 式 表 面 电 阻 测 试 仪 被测材料 测试电极 STATIC DISSIPATIVE CONDUCTIVE INSULATIVE OHMS PER SQUARE 103 104 ?105 ?106 107 108 ?109 1010 ?1011 1011 GROUND TEST 绝 缘 平 板图1 ? ? 简 易表 面电 阻测 试仪 ?4.2.2 ?兆欧 表 ?UT 公司 兆欧 表的 型号 有BM80/2 、41270 两种 。参 见图2 。 ?型号为BM80/2 的 兆欧 表, 配有两 根连 线和2Kg 重的 测 试电极 两个 ,具 有Ω 、K Ω、M Ω三 个档 位, Ω档测 试量 程为 <100 Ω,K Ω 的测 试量 程为 <100K Ω,M Ω 测试 量程 为10 5 ~10 10Ω, 适用 于测 试平 面材料 , 通 过测 试结 果可 以分辨 被测 材料 为导 体类 、 静电 耗散 类和 绝缘 类, 并 可使用 Ω档 测试 接地 电阻 , 使用K Ω档 测试 低阻 材料 。 ?型号为41270 的 兆欧 表, 配 有两根 连线 和两 个测 试电 极, 在10V 档 时, 测试 量程 为10 5 ~10 11Ω, 在100V 档时 ,测 试量 程为10 5 ~10 12Ω, 适用 于测 试平 面材 料 ,通 过测 试结 果可 以分 辨 被测材 料为 导体 类 、静 电 耗散类 和绝 缘类 。 ?两种兆 欧表 都可 以测 试材 料表面 电阻 和体 积电 阻 ( 或系统 电阻 ) , 两 根连 线 把兆欧 表和 两个 测试 电 极连接 起来 , 两 个电 极放 置在材 料的 同一 表面 即可 测试表 面电 阻, 两个 电极 放置在 材料 的两 个表 面 的 相 对位置 可以 测试 体积 电阻 。 型 号为BM80/2 的 兆欧 表 可直接 使用 兆欧 表和 两根 连线来 测试 接地 电阻 和低 阻。 ? ? ?图2 ? ? 兆欧 表 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ESD 检测 方法 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?版 本:Rv1.1 ?MGL -0007 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?第6页共21 页 ?6 4.2.3 ?静电 场测 试仪 ?UT 公司 静电 场测 试仪 有两 种型号 ,普 通型ESD42721 ,高精 度型MODEL 520 , 都 采用非 接触 型的 电场 感应测 试方 式。 两个 仪器 都配有 一根 接地 线, 静电 电压测 试时 接地 线接 地可 以提高 测量 的准 确性 。 ?ESD42721 的 测试 量程 <20KV ,精 确度 为10V ,适 于测 试较大 的平 面分 布电 场。 ?MODEL 520 的的 测试 量程 <2KV, 精确 度为1V , 适于 平 面和某 点电 场精 确测 试。 图3 ? 静电 场测 试仪MODEL 520 ? ? ? ?图4 ? 静电场 测试 仪 ESD42721 ?4.2.4 离子风 机离 子平 衡度 测试 仪 ?离子风 机离 子平 衡度 测试 仪由静 电电 压发 生器 、 静 电场测 试仪ESD42721 、 金 属隔离 测试 板组 成, 静 电电压 发生 器产 生1000V 静 电电压 。参 见图5。 图5 ? ?离 子风 机离 子平 衡 度测试 仪 ?4.2.5 ?CHARGE PLATE MONITOR ?CHARGE PLATE MONITOR 型 号为MODE 156A ?可 用于 测 试离子 风机 的离 子平 衡度 和衰减 时间 ,静 电电 压发生 器产 生1000V 静电 电 压。参 见图6。 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ESD 检测 方法 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?版 本:Rv1.1 ?MGL -0007 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?第7页共21 页 ?7 图6 ? ?CHARGE PLATE MONITOR 156A ?4.2.6 ?屏蔽 残余 电压 测试 仪 ?屏蔽残 余电 压测 试仪 型号 为Charleswater 19380 , 由静电 电压 发生 器 、 测 试 电极 、 辅 助金 属板 、 静电探 测器 组成 ,静 电发 生器产 生1000V 的静 电电 压 ,静电 探测 器的 测 试 量程 为10V ~300V 。 参加 图7 。 图7 ? ?屏 蔽残 余电 压测 试 仪 ?腕带测 试仪 、 人体 综合 电 阻测试 仪 、 腕 带测 试仪 和 人体综 合电 阻测 试仪 的校 准仪的 介绍 和使 用参 见 《DKBA3151.5-2002.03 人 体接地 技术 和测 试方 法》 。 ?各种测 试仪 器的 详细 使用 方法参 照仪 器使 用说 明书 。 ?4.3 ? 表 面电 阻测试 测试表 面电 阻需 要把 被测 材料放 置在 绝缘 平面 上进 行,绝 缘平 面表 面电 阻要 求≥1 ×10 12Ω。 ?4.3.1 ?采用 简易 表面 电阻 测试 仪WRSTG330 测试 表面 电阻 ?简易表 面电 阻测 试仪 的两 测试极 间距 依据 标准 固定 不变, 测试 时把 被测 材料 放置 在 绝缘 的平 面 上 , 表面电 阻测 试仪 平置 在材 料表面 ,手 指施 加适 当压 力(2~4 千 克力 )压 触测 试 按钮, 使测 试电 极和 材料 表面接 触良 好, 指示 灯发 亮档即 为测 试读 数。 参见 图8。 简易表 面电 阻测 试仪 的10 11 Ω档修 正为 绝缘 材料 类别 ,不是 静电 耗散 材料 。 使用简 易表 面电 阻测 试仪 测试表 面粗 糙不 平的 软性 材料时 , 如泡 沫板 、 气珠 袋等 , 需 要加 大 测 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?ESD 检测 方法 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?版 本:Rv1.1 ?MGL -0007 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?第8页共21 页 ?8 ?试压力 ,可 以施 加到4~6 千 克力的 压力 ,以 保证 测试 电极和 材料 表面 接触 良好 ,测试 准确 。 图8 ? ? 表 面电 阻测 试 ?4.3.2 ?采用 兆欧 表BM80/2 或41270 测试 表面 电阻 ?兆欧表 测试 材料 表面 电阻 选择100V DC 档 ,把 被测 材 料放置 在绝 缘平 面上 ,测 试电极 平稳 地放 在材 料表面 , 拨动 测试 按钮 可 以直接 读取 数值 。 测试 电 极的距 离一 般可 以选 择1m 左右 , 根 据测 试对 象的 不 同 测试电 极的 间距 可以 适度 调整。 ?测试电极 φ 50 ?2kg R 100V DC 兆欧表 1m 被测对象 绝缘 平面图9 ? ? 表 面电 阻测 试 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 测试时 要保 持被 测试 表面 和探头 与被 测体 的接 触面 清洁、 测试 电极 和被 测表 面接触 良好 。 ?每个样 本在 内、 外表 面随 机选择 三个 测试 点, 每 个 测试点 测试 五次 取平 均值 。 只有 每个 测试 点都 符 合防静 电性 能指 标才 为合 格,否 则为 不合 格。 ? 4.4 ? 体 电阻 和系 统电阻 测试 ?体积电 阻和 系统 电阻 测试 使用兆 欧表 ,低 阻值 的系 统电阻 测试 还可 以采 用万 用表直 接测 量。 ?测试体 电阻 和系 统电 阻需 要辅助 的金 属平 板( 导电 性能良 好, 表面 无氧 化涂 覆)。 ?系统电 阻是 由多 种材 质构 造的物 体的 系统 阻抗 ,系 统电阻 与体 电阻 的测 试原 理相同 。 ?体电阻 和系 统电 阻测 试方 法参见 图10 。 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ESD 检测 方法 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?版 本:Rv1.1 ?MGL -0007 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?第9页共21 页 ?9 测 试电 极 φ 50 ?2kg R 100V DC 兆欧表 板 状 辅助 电 极 被测对象图10 ? ? 体电 阻和 系统 电 阻测试 ?测试 时 要保 持被 测试 表面 、测试 电极 与被 测体 的接 触面清 洁, 保证 测试 电极 和被测 表面 接 触 良 好 。 ?每个样 本在 内、 外表 面随 机选择 三个 测试 点, 每个 测试点 测试 五次 取平 均值 。 只有 每个 测试 点都 符 合防静 电性 能指 标才 为合 格,否 则为 不合 格。 ?采用万 用表 测试 系统 电阻 参见图11 。 ?万用表 被 测对 象图11 ? ? 万用 表测 试系 统 电阻 ?4.5 静 电电 压、摩 擦电 压及其 衰减 时间测 试 ?测试静 电电 压采 用非 接触 静电场 测试 仪, 公司 有两 种 非接触 静电 场测 试仪 。 一 种 是能精 确到1伏TREK 公司520 型 ,如 图12 ;另 一 种是只 能精 确到10伏ESD SYSTEMS 公司 42721 型 ,如 图13 。 ?测试静 电电 压时 测试 探头 与被测 件的 距离 保持 在1 英 寸左右 或按 照仪 器说 明书 。 ESD 检测 方法 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?版 本:Rv1.1 ?MGL -0007 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?第10页共21 页 ?10 图12 ?静 电场 测试 仪 ? ? ? ? ? ? 图13 ? ? 静电 场测 试仪 ?测试时 静电 场测 试仪 的接 地端要 接地 , 保证 测试 读 数准确 。 TRCK 公司520 型 可以测 试小 面积 的和 一 点的静 电, 而ESD SYSTEMS 公司 42721 型只 能测 试较 大面积 的静 电。 1) 摩擦电 压测 试方 法: 手持干 燥和 干净 的棉 布以 每分 钟120 次的 速度 ,施 加 适当的 压力 (2 ~4千 克力 ),单 向摩 擦待 测物品 表面 ,摩 擦次 数为20 次。 再用 测试 仪测 其静 电 压。 ?2) 静电衰 减时 间测 试方 法: ? 被测物 体充 电或 摩擦 后具 有较高 的静 电电 场强 度 , 采用静 电场 测试 仪立 即测 试其静 电电 压并 记 录开始 时间 ,保 持测 试状 态不变 ,观 察静 电电 压逐 步降低 到要 求数 值时 的时 间段即 为静 电衰 减时 间。 ?每个样 本内 、 外 表面 随机 选择三 个测 试点 , 每 个测 试点测 试五 次取 平均 值。 只有每 个测 试点 都符 合 防静电 指标 才为 合格 ,否 则为不 合格 。 ?4.6 屏蔽 残余电 压测 试 ?屏蔽袋 的屏 蔽残 余电 压采 用屏蔽 残余 电压 测试 仪 (Charleswater 19380 )测试,参 见图14。 图14 ? ? ?屏蔽 残余 电压 测试 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ESD 检测 方法 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?版 本:Rv1.1 ?MGL -0007 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?第11页共21 页 ?11 ?测试方 法: 1) 检查静 电发 生器 背部 面板 ,确保 电压 选择 选钮 指向 “240 ”位 置; 2) 开启静 电探 测器 电源 开关 ,然后 将其 置于 待检 屏蔽 袋内; 3) 将圆柱 状测 试电 极压 于屏 蔽袋外 侧, 确保 底面 与静 电探测 器的 探测 电极 正对 ; 4) 开启静 电发 生器 开关 ,然 后按其 前部 面板 上的 放电 按钮, 产生1000V 静电 ; 5) 观察静电探测器上的电压 指示灯,读取对应的电压 值,有10V 、20V 、30V 、40V 、50V 、 100V 、200V 、300V 等 八个 区段。 ?? 若没有 指示 灯亮 ,表 明探 测到的 袋内 静电 压低 于10V ; ?? 100V灯 亮表 示静 电压 为100~200V ,因 此50V 及 以下 灯 亮证明 合格 ,其 余超 标。 ?注意: 1) 每次测 试前 需按 下静 电发 生器复 位开 关使 之复 位 ( 电压指 示灯 熄灭 ) , 重开 电 源自然 复 位 。 2) 测试过 程中 ,请 勿触 及屏 蔽袋、 辅助 金属 板或 柱状 测试电 极。 3) 若静电 探测 器有 多个 电压 指示灯 亮, 须重 新复 位。 ?4.7 离 子风 机离子 平衡 度测试 ?离子风 机的 离子 平衡 度测 试采用 简易 离子 风机 离子 平衡度 测试 仪, 参见 图15 。 ?首先用 静电 发生 器产 生1KV 静 电并 传导 到静 电探 测 仪的隔 离金 属测 试板 上, 如图15 所示 , 然 后将 带 隔离测 试板 的静 电探 测仪 a. 移至如 图10 所示 的测 试点 ①和③ ,检 验离 子风 机的 消电时 间( 从1KV 下 降至100V ); b. 移至有 效范 围( 长度 :距 离离子 风机1~4feet ;宽 度 :距离 中心 线±6英 寸) 内 的任意 测试 点,检 验离 子平 衡度 (即 消电所 能达 到的 最低 值) 。 图15 ? ?离子 风机 离子 平 衡度测 试 ?注意: 测试 过程 中隔 离金 属板不 能碰 触任 何物 体。 4.8 ? 离 子风 机离子 平衡 度及 衰减 时间测 试 ?离子风 机的 离 子 平衡 度及 衰减时 间测 试采 用CHARGE PLATE MONITOR 156A ,参见 图16 。 ?静电发生器 静电探测仪 隔离测试板 1.00中心线 1ft 2ft 3ft 4ft 5ft 6in 6in 1 离子风机 测 试 点 2 3 4ESD 检测 方法 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?版 本:Rv1.1 ?MGL -0007 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?第12页共21 页 ?12 测试方 法: 1) 检查仪 器电 压, 确保 其符 合要求 ,如 果不 足, 应及 时充电 ; -400 2) 将 金 属 测 试 板 连 线 插 头 分 别 插 入 仪 器 主 体 部 分 背 面 的 GROUND 孔和ION ?COLLECTING PLATE 中; 3) 打开电 源开 关, 将静 电发 生模型 设置 正电 压或 负电 压; 4) ?启动TEST/RETEST ,使 测试仪 器产 生1KV 的 正电 压或负 电压 ; 5) 将金属 测试 板移 至测 试点 , 记录 离子 风机 的消 电时 间 (从1KV 下降 至100V ) 和 离子平 衡 度 。 图16 ? ? 离子 风机 平衡 度 测试示 意图 4.9 ? 接 地电 阻测试 ?4.9.1 ?防静 电地 极的 接地 电阻 测 试 ?测试仪 器: 接地 电阻 测量 仪 ?测试方 法, 参见 图17 。 1) 将被测 试地 极用 导线 接于 仪器端 子E ; 2) 在相同 直线 方向20m 、40m 潮湿土 地处 , 分别 插入 电 位探测 针及 电流 探测 针 , 各接于 仪器 端 子P、C ; 3) 设置“ 倍率 盘” 倍数 ; 4) 自缓至 快摇 动仪 器手 柄 , 达到约120r/min , 调整 “ 测量标 度盘 ” , 指 针指 于 零位时 , 读数 乘以倍 率标 度, 即为 接 地 电阻值 ; 5) 按测试 步骤c、d 反复 测试3~5 次, 取平 均值 。 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ESD 检测 方法 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?版 本:Rv1.1 ?MGL -0007 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?第13页共21 页 ?13 ?E P C 地电阻测量仪 地极 电位探针 电流探 针 20m 40m图17 ? ?防 静电 地极 接地 电阻测 试 ?4.9.2 ?防静 电地 面接 地电 阻测 试 ?测试仪 器: 兆欧 表和 探头 ?测试方 法, 参见 图18 。 1) 按图18 的a 、b所 示, 划分 测试网 格; 2) 按图18 的c 、d所 示, 随机 选定测 试点 ; 3) 按GB 2828 —87 中4.8 规定 的抽样 程序 ,将 待测 地面 全部网 格看 做样 本大 小( 批量范 围 ) , 以一般 检查 水平II, 确定 样本大 小字 码; 再用 “正 常检查 一次 抽样 方案 ”。 4) 以合格 质量 水平 (AQL)为6.5, 决定 抽样 样本 大小 字 码, 查表 得出Ac 、Re 。 按 图18的e 所 示,测 试地 面表 面电 阻。 5) 以合格 质量 水平 (AQL)为10,决 定抽 样样 本大 小字 码,查 表得 出Ac 、Re 。按 图18的f 所 示,测 试地 面对 地极 母线 电阻。 ?间隔 尺 寸 a 、水 磨 石地 面材料尺 寸 b 、铺设地 面地网铜带 测试点 c、平行地线网ESD 检测 方法 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?版 本:Rv1.1 ?MGL -0007 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?第14页共21 页 ?14 ?地网铜带 测试点 d、方格地线网防 静 电 铺 设 地 面 R 测试电极 φ 50 ?2kg 100V DC 兆欧表 湿滤纸垫 0.9~1.0m e ?地面表面电阻测试R 100V DC 兆欧表 测试电极 φ 50 ?2kg 接地母线 防静电地面 f ?地面对地 极母线 电阻测试图18 ? ?地 面表 面电 阻和 地面接 地电 阻测 试 ?4.9.3 ?设备 、仪 器、 工具 的接 地 电阻测 试 ?测试仪 器: 兆欧 表和 万用 表 ?测试方 法: 分硬 接地 测试 和软接 地测 试 ?硬接地 测试 : 用 兆欧 表或 万用表 的欧 姆档 测试 仪器 、 设备、 工具 上的 金属 接 地点到 接地 母线 之间 的 电阻。 ?软接地 测试 :用 兆欧 表的M Ω档、 测试 极一 端连 接测 试点, 另一 端连 接接 地母 线,采 用系 统电 阻测 试方法 进行 测试 。 5 ? ?防 静电用品的 防静电性 能测试 ?5.1 防 静电 用品的 防静 电性能 测试 条件和 通用 要求 1) 本规范 的 “防 静电 用品 ” 不包含 防静 电检 测仪 器类 。 防 静电 专用 测试 仪器 类 防静电 用品 依 据认证 选型 标准 进行 采购 ,遵照 公司 仪器 仪表 检验 相关流 程执 行, 本规 范不 作要求 。 2) 防静电 用品 的防 静电 标识 、 防 静电 性能 为通 用必 检 项目 。 防 静电 标识 应符 合 《防 静电 标识 规范》 的要 求, 主要 内容 包括是 否有 标识 、标 识的 大小、 位置 等。 3) 本 规 范 主 要 规 定 防 静 电 用 品 的 防 静 电 性 能 检 测 方 法 , 防 静 电 用 品 的 防 静 电 性 能 要 求 参 见 “附录 :各 类防 静电 参数 指标要 求” ,或 按照 该用 品的技 术说 明书 、技 术文 件进行 。 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ESD 检测 方法 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?版 本:Rv1.1 ?MGL -0007 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?第15页共21 页 ?15 4) 摩擦电 压按 照4.5 的 要求 进 行,本 节不 再叙 述。 5) 防静电 用品 的防 静电 性能 检测分 认证 测试 、 接 收测 试和稽 查测 试, 按照 各用 品的防 静电 性 能技术 要求 项目 测试 。 6) 认证测 试适 用于 新材 料 、 新用品 、 新供 应商 的引 入 认证 , 供 应商 提供 认证 样 品的同 时要 求 提供权 威检 验单 位出 具的 检验合 格报 告, 我司 再直 接到厂 家进 行认 证或 自己 认证。ESD 技术 认 证 工作由ESD 项目 组负 责。 认证测 试的 环境 要求 : 温度20~30 ℃ ,相 对湿 度15 ±5%。 7) 接收测 试适 用于 防静 电用 品的来 料检 验, 稽查 测试 指日常ESD 检查 、稽 查中 的 测试。 接 收 测 试 和 稽 查 测 试 的 环 境 要 求 : 在 实 际 现 场 条 件 下 进 行 检 测 , 但 被 检 材 料 在 温 度 20~30 ℃、 相对 湿度30%~70% 的范 围内 的防 静电 性能 应 满足技 术要 求 。 8) 检验人 员应 能熟 练操 作所 使用的 防静 电专 用检 验仪 器。 9) 检验所 使用 的仪 器必 须经 计量检 定合 格( 有准 用标 签), 并在 有效 期内 。 10) 检验结 果记 入表 格《 防静 电用品 检验 记录 》, 记录 由检验 部门 保存 两年 以上 。 ?5.2 ? 包 装材 料的防 静电 性能 测试 ?包装材 料的 防静 电性 能测 试按照 《防 静电 包装 材料 技术规 范》 执行 。 ?5.3 ? 防 静电 台垫、 地垫 的防 静电 性能测 试 ?防静电 台垫 和地 垫的 测试 方法相 同, 主要 测试 表面 电阻和 接地 系统 电阻 。 ?随机选 定测 试点 ,每 个工 作台垫/ 地 垫的 每个 测试 项 目不得 少 于3个 测试 点, 取 平均值 。 ?测试方 法: ?按照表 面电 阻测 试方 法测 试台垫 、地 垫表 面电 阻; ?按图19-a所 示, 用兆 欧表 测试工 作台 面对 腕带 插孔 电阻; ?按图19-b所 示, 用兆 欧表 测试工 作台 面对 地系 统电 阻/接 地电 阻。 ?腕带插孔 R 测试电极 φ 50 ?2kg 100V DC 兆欧表 a ?工作台 面对 腕带 插孔 电阻R 测试电极φ 50 ?2kg 100V DC兆欧表 b ?工 作 台 面 对 地 系 统 电 阻图19 ? ? 工作 台面 防静 电 测试 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ESD 检测 方法 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?版 本:Rv1.1 ?MGL -0007 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?第16页共21 页 ?16 ?5.4 ? 防 静电 工作椅 的防 静电 性能 测试 ?工作椅 主要 测试 表面 电阻 、系统 电阻 和摩 擦电 压。 ?随机选 定测 试点 ,每 把工 作椅每 个测 试项 目不 得少 于5点 ,取 平均 值。 ?测试方 法: ?按图20-a所 示, 用兆 欧表 测试椅 面对 脚轮 的系 统电 阻,需 要导 电性 能良 好的 辅助金 属平 板; ?按图20-b所 示, 用兆 欧表 测试椅 面与 靠背 之间 电阻 。 ?A B C D E 测 试电 极 φ 50 2kg 板 状 辅助 电 极 100V DC 兆 欧表 R a ?工作椅面对脚轮系统电阻测试A B C D E 测试 电 极 φ 50 2kg 100V DC 兆欧表 R b ?工作椅面与靠背椅面电阻测试图20 ? ?工 作椅 防静 电测 试 ?5.5 ? 人 员防 静电装 备的 防静 电性 能测试 ?5.5.1 ?工衣 、工 帽、 手套 的测 试 方法 ?工衣、 工帽 、手 套主 要测 试表面 电阻 和摩 擦电 压。 ?随机选 定测 试点 ,每 个样 品每个 测试 项目 不得 少于5 点,取 平均 值。 ?工衣、 工帽 、手 套的 表面 电阻测 试方 法相 同, 在绝 缘平面 上进 行测 试。 ?工 衣需 要测 试袖 对袖 、片 对片、 同一 片上 两点 之间 的表面 电阻 。 ?工衣表 面电 阻测 试参 见图21 。 ESD 检测 方法 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?版 本:Rv1.1 ?MGL -0007 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?第17页共21 页 ?17 图21 ? ? 工衣 表面 电阻 测 试 ?5.5.2 ?工鞋 、鞋 跟的 测试 方法 ?工鞋主 要测 试体 积电 阻和 人体穿 着时 的系 统电 阻。 ?按图22 所示 ,用 兆欧 表测 试鞋底 体积 电阻 (内 电极 由总重 量为4KG ,直 径为5MM 的钢 球组 成) 。其 余参照GB4385-1995 进行 检 验。 ?由于工 鞋底 面过 笮或 不平 , 电极 重量 有限, 压力 不 足, 电 极和 工鞋 底面 不能 良好接 触导 致测 试误 差 较大。 因此 工鞋 的测 试可 以按照 人体 穿着 工鞋 的实 际情况 测试 人体 和工 鞋的 系统电 阻。 ?R 测 试 电 极 φ 50 ?2kg 100V DC 兆欧表 辅 助 电 极图22 ? ?工 鞋体 积电 阻测 试 ?防静电 鞋跟 需要 测试 鞋跟 的体积 电阻 和鞋 跟带 到鞋 跟底部 的系 统电 阻。 ?鞋跟的 系统 电阻 可以 按照 人体穿 着鞋 跟的 实际 情况 进行测 试( 人体 和鞋 跟的 系统电 阻) 。 ?人体穿 着工 鞋的 系统 电阻 (人体 综合 电阻 )测 试方 法参照 《人 体防 静电 接地 和测试 方法 》。 ?5.5.3 ?腕带 的测 试方 法 ?腕带的 内表 面表 面电 阻、 腕带的 外表 面表 面电 阻、 腕带的 电缆 连接 系统 电阻 、 人体 佩带 腕带 的系 统 接地电 阻需 要进 行分 别测 试。 ?测试方 法: ?按图23-a所 示, 用万 用表 测试腕 带内 表面 对电 缆扣 的表面 电阻 。 ?按图23-b所 示, 用万 用表 测试腕 带连 接电 缆系 统电 阻。 ?腕带的 外表 面表 面电 阻就 是用兆 欧表 测试 腕带 外表 面对电 缆扣 的表 面电 阻。

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